圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂

                                                深圳市衡鵬瑞和科技有限公司 (v1222941.skxox.com)

                                                圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂

                                                圓柱坐標潔凈_3軸機械手臂特點:

                                                超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

                                                適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

                                                全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

                                                比MHR系列具有更好的性價比優勢

                                                機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

                                                適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

                                                配備動作監視器

                                                控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

                                                全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機

                                                S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

                                                晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

                                                手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

                                                可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指

                                                3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數:

                                                使用環境 潔凈間內的大氣環境

                                                手臂 單臂

                                                到達距離 400mm (手臂第3關節中心到達距離)

                                                升降軸最大行程 300mm / 400mm / 500mm

                                                可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準)

                                                如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬

                                                http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/

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