高精度大型真空探針臺_鄭科探

                                                鄭州科探儀器設備有限公司
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                                                主關鍵詞:真空探針臺 真空試管封口機 小型蒸鍍儀 小型濺射儀


                                                品牌鄭科探
                                                型號KT-Z160T-RL
                                                產地鄭州
                                                運費賣家承擔運費

                                                相關標簽: 高精度精度大型真空探針

                                                進入微平臺

                                                產品詳細介紹>>

                                                高精度大型真空探針臺,移動滑塊精度0.01mm,探針尖10μm,鍍金鎢針,物鏡放大倍數19-135倍

                                                -196℃到400℃(液氮);

                                                超高溫度分辨率;

                                                低溫具有*穩定性

                                                當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

                                                晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

                                                高精度大型真空探針臺

                                                真空腔體

                                                腔體材質

                                                304不銹鋼

                                                上蓋開啟

                                                鉸鏈側開

                                                加熱臺材質

                                                304不銹鋼

                                                內腔體尺寸

                                                φ160x90mm

                                                觀察窗尺寸

                                                Φ70mm

                                                加熱臺尺寸

                                                φ60mm

                                                觀察窗熱臺間距

                                                75mm

                                                加熱臺溫度

                                                ﹣196~350℃

                                                加熱臺溫控誤差

                                                ±1℃

                                                真空度

                                                機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

                                                允許正壓

                                                ≤0.1MPa

                                                真空抽氣口

                                                KF25真空法蘭

                                                氣體進氣口

                                                3mm-6mm卡套接頭

                                                電信號接頭

                                                SMA轉BNC X 4

                                                電學性能

                                                絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V

                                                探針數量

                                                4探針

                                                探針材質

                                                鎢針

                                                探針尖

                                                10μm

                                                探針移動平臺

                                                X軸移動行程

                                                30mm ±15mm

                                                X軸控制精度

                                                ≤0.01mm

                                                Y軸移動行程

                                                13mm ±12.5mm

                                                Y軸控制精度

                                                ≤0.01mm

                                                Z軸移動行程

                                                13mm ±12.5mm

                                                Z軸控制精度

                                                ≤0.01mm

                                                電子顯微鏡

                                                顯微鏡類別

                                                物鏡

                                                物鏡倍數

                                                0.7-4.5倍

                                                工作間距

                                                90mm

                                                相機

                                                sony 高清

                                                像素

                                                1920※1080像素

                                                圖像接口

                                                VGA

                                                LED可調光源

                                                顯示屏

                                                8寸

                                                放大倍數

                                                19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

                                                免責聲明該文章內容及資源由會員發布或轉載,本站僅提供空間服務;如涉及侵權(版權/著作權/肖像權/商標等)請聯系信息發布者, 如需平臺幫助請聯系 QQ1210173322, 相關法律請參閱中華人民共和國國務院令第468號-《信息網絡傳播權保護條例》-第14-17條 舉報。

                                                日本按摩高潮a级中文片